據合肥高新發布公眾號,合肥國鏡儀器近日發布了其自主研發的世界首臺冷場臺式電鏡。
據了解,冷場掃描電鏡(SEM)是納米尺度下微觀檢測的核心儀器,廣泛應用于科研和工業檢測,對新材料、新能源等產業的發展具有重要支撐作用。
冷場電子光學技術相對于熱發射和熱場技術,具有高亮度、低色差等優點,然而通常也需要更高的真空要求(10^(-9)Pa)和較高的引出電壓(6-8kV),目前為海外少數企業所掌握。
而國鏡儀器的這臺冷場電鏡產品,其獨特的冷場發射技術真空要求僅為10^(-7)Pa,引出電壓僅需100V,極大降低了工況要求。
此次發布的產品也是世界首臺小型化冷場電鏡,標志著國內冷場掃描電鏡領域實現了零的突破。
據介紹,此次發布的冷場電鏡產品具備超高分辨率、高亮度、小交叉斑直徑、低能量色散等特性,在低加速電壓下相比傳統產品有更好的性能表現。